Experimental study of amorphous, micro- or polycrystal silicium surface reactivity by atomic and molecular jet.

Étude expérimentale de l'interaction de l'hydrogène atomique avec des surfaces de silicium. Réalisation du système expérimental, caractérisation et premiers résultats.

Régis Bisson (1)

1 LPICM - Laboratoire de physique des interfaces et des couches minces [Palaiseau]

Résumé non disponible

Keywords: Silicium; Hydrogène; Interactions particule-surface

Domains: Physics [physics]

Régis Bisson. Étude expérimentale de l'interaction de l'hydrogène atomique avec des surfaces de silicium. Réalisation du système expérimental, caractérisation et premiers résultats.. Physique [physics]. Ecole Polytechnique X, 2004. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨pastel-00000937⟩