On some control and observation issues related to high-precision positioning tables - PASTEL - Thèses en ligne de ParisTech Access content directly
Theses Year : 2007

On some control and observation issues related to high-precision positioning tables

Sur certains problèmes de commande et d'observation pour des tables de positionnement de haute précision


In this work, our concern is the study of high-precision positioning systems. They are one of the core elements entering the manufacturing processes of the semiconductor industry. We are more specifically interested in two major issues: conceiving an initialization algorithm for brushless synchronous motors and designing a control scheme to reject disturbances peculiar to these systems. The previously mentioned initialization procedure consists in estimating the initial phase of the magnetic field for brushless synchronous motors. Only displacement measurements are available (no current) while friction, load and motor parameters are supposed to be unknown. Because of friction, the system is modeled by a differential equation with a discontinuous right-hand side. Specific open-loop inputs are designed to get the initial phase as a function of the magnitude of the displacements along the corresponding trajectories. The estimation relies on a complete classification of the possible dynamical behaviors of the considered discontinuous right-hand side system with periodic input, whatever values the unknown parameters may take. For the sake of the online implementation, we propose an approximated formula of the initial phase. Some experimental results are given, together with a comparison of our method to an other technique that may be implemented in the same context. We then move to the problem of rejecting a class of disturbances affecting the considered high-precision positioning tables. These systems turn out to feature spatially periodic perturbations, preventing them from achieving the required accuracy in terms of trajectory tracking. Despite the nonlinear nature of this problem, we derive sufficient conditions for a linear time-varying controller to entirely get rid of these disturbances and allow global asymptotic convergence of the tracking error to zero. Such stability conditions result from a regular perturbation analysis, carried out with the use of the Bell polynomials of the second kind. We propose a linear time-varying observer-based controller that meets the previously mentioned stability conditions and only relies on position measurements. It is quite noteworthy that the observer equations are obtained by evaluating the spatially periodic perturbations along the desired trajectories, and not along the actual positions. We make use of the LMI formalism to cast the observer gains tuning issue into an optimization problem, subject to LMI constraints, carried out offline. Little computation is required online as the observer gains are constant. We then provide several experimental results to exhibit the performances of the proposed method. We namely address the experimental cancellation of cogging forces, as well as position measurements errors, known as interpolation errors.
On s'intéresse au positionnement haute précision des moteurs synchrones sans balai dans l'industrie du semi-conducteur. On conçoit un algorithme d'initialisation et des correcteurs pour le rejet de perturbations spécifiques. L'initialisation consiste à estimer la phase initiale du champ magnétique. Seules des mesures de déplacement sont accessibles. Les paramètres du moteur (gain, charge et frottements) sont inconnus. On adopte un modèle à second membre discontinu dû aux frottements. La phase initiale s'obtient en fonction de l'amplitude des déplacements pendant l'initialisation. On se base sur une classification des orbites périodiques du modèle à second membre discontinu. On compare expérimentalement cette méthode à une solution implémentable dans les mêmes conditions. On étudie alors le rejet de perturbations, périodiques en fonction de la position, qui dégradent la précision du suivi de trajectoires. On formule des conditions pour qu'un contrôleur linéaire rejette entièrement ces perturbations non linéaires. On assure la convergence asymptotique globale de l'erreur de suivi vers zéro grâce à une analyse de perturbations régulières basée sur les polynômes de Bell de seconde espèce. On construit un observateur linéaire basé sur des mesures de position pour le rejet de ces perturbations. Il est obtenu en évaluant les perturbations le long des trajectoires de référence, et non le long de celles effectives du système. Les gains de l'observateur sont réglés par optimisations sous contraintes LMI, réalisées hors ligne, et peu de calculs sont nécessaires en ligne. On illustre expérimentalement notre méthode, via l'annulation du cogging et des erreurs d'interpolation.
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Dates and versions

pastel-00003384 , version 1 (12-03-2008)


  • HAL Id : pastel-00003384 , version 1


Jérémy Malaizé. On some control and observation issues related to high-precision positioning tables. Mathematics [math]. École Nationale Supérieure des Mines de Paris, 2007. English. ⟨NNT : 2007ENMP1499⟩. ⟨pastel-00003384⟩
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