Thin films for x-uv optics deposited by laser-assisted evaporation: preparation and caracterisation.

Fabrication par ablation laser et caractérisation de couches minces de matériaux utilisables pour la fabrication de multicouches pour les optiques x-uv .

Philippee Macquart (1)

1 LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique

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Keywords: rugosite; Physique : generalites physique evaporation laser; couches minces; multicouches; reflexion x rasants; rugosite.

Domains: Physics [physics]; Physics [physics]; Optics [physics.optics]

Philippee Macquart. Fabrication par ablation laser et caractérisation de couches minces de matériaux utilisables pour la fabrication de multicouches pour les optiques x-uv .. Optique [physics.optics]. Université Paris Sud - Paris XI, 1990. Français. ⟨NNT : ⟩. ⟨pastel-00714192⟩