Dépôt de films minces ferroélectriques de Pb(Zr,Ti)03 par pulvérisation cathodique RF magnétron. : Etude corrélée du plasma et des propriétés physiques des films déposés.

Tito Ayguavives 1
1 Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique / Scop
LCFIO - Laboratoire Charles Fabry de l'Institut d'Optique
Abstract : xx
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Contributor : Marie-Laure Edwards <>
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Tito Ayguavives. Dépôt de films minces ferroélectriques de Pb(Zr,Ti)03 par pulvérisation cathodique RF magnétron. : Etude corrélée du plasma et des propriétés physiques des films déposés.. Optique [physics.optics]. université de Paris Sud, 1999. Français. ⟨NNT : 1999PA112171⟩. ⟨tel-01136441⟩

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